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RUBIS晶圓鑷子的應(yīng)用范圍
耐高溫晶圓鑷子(Rubis晶圓鑷子)又叫做精密鑷子,導(dǎo)靜電鑷子，簡(jiǎn)稱PEEK具有耐高溫， 耐磨損性，耐化學(xué)品腐蝕、阻燃等諸多顯菩優(yōu)勢(shì):
A.可在2509C下長(zhǎng)期使用，在高溫下能保持較高的強(qiáng)度，尺寸穩(wěn)定性較好，線脹系數(shù)較小，非常接近于金屬鋁材料; .
B.(Rubis晶圓鑷子)具有突出的摩擦學(xué)特性，耐滑動(dòng)磨損和微動(dòng)磨損性能優(yōu)異，尤其是能在250°C下保持高的耐磨性和低的摩擦系數(shù)，因此，夾取晶圓，硅片的時(shí)候，不會(huì)對(duì)晶圓，硅片的表面產(chǎn)生劃痕，不會(huì)因摩擦而對(duì)晶圓，硅片產(chǎn)生殘留物，從而提高了晶圓，硅片的表面潔凈度。
C.耐化學(xué)藥品性強(qiáng)，在通常的化學(xué)藥品中，只有98%的濃硫酸能溶解或者破壞它，它的耐腐蝕性與鎳鋼相近，同時(shí)其自身具有阻燃性，在火焰條件下釋放煙和有毒氣體少，抗輻射能力強(qiáng)。